适配扩展ISO Class1 10nm超净标准 5635型AeroBarMP棒式离子静电消除器是Simco-ion专为**半导体制造等对100nm以下微小颗粒管控有严苛要求的场景研发的超低颗粒除电产品，**适配半导体前工程晶圆前端传输系统（EFEM）的作业需求，符合RoHS认证标准，是超净制造环境中静电消除的核心解决方案。
扩展ISO Class1 10nm是ION Systems为满足微小颗粒精细化管理需求独立制定的洁净度标准，区别于常规ISO14644-1（*小定义粒径100nm），该标准沿用ISO14644-1的允许颗粒数计算公式，对10nm及以上粒径的颗粒管控标准为：允许颗粒数≤1200个/立方米（34个/立方英尺），**适配半导体等**制造对超微颗粒的管控要求。
粤公网安备 44030902000435号
