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电子产品生产与洁净技术

电子产品生产与洁净技术
国内外的洁净技术的发展都是随着科学技术的发展、工业产品的日新月异，特别是**工业、航天、电子和生物医药等工业的发展而不断发展。现代工业新产品和现代科学实验活动要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。微型化的产品如电子计算机，从当初的要在数间房间内配置多台设备组合发展到当今的笔记本电脑，它所用的电子元器件从电子管到半导体分离器件到集成电路再到超大规模集成电路，仅集成电路的线宽已从几微米发展到0.1µm左右。产品的微型化等的生产，要求有一个“洁净的生产环境”，洁净技术便是按照产品生产对“洁净生产环境”中的污染物的控制要求、控制方法以及控制设施的日益严格而不断发展。

洁净生产环境—洁净室(洁净厂房)的称谓、名称或定义，先后使用过“无法室”、“无窗厂房”、“密闭厂房”、“空气悬浮粒子受控的房间”……等，洁净室因定义为将空气中的微粒、有害气体、微生物受控的房间，以满足产品生产的需要;洁净室的建造和使用应不引入或少引入微粒等，应不产生或少产生微粒等应不滞留微粒等;应对洁净室内的温度、湿度、压力等参数按产品生产要求进行控制;根据产品生产要求还需对洁净室内的气流分布、气流速度以及噪声、振动、静电等进行控制。

　　根据电子产品生产的特点，以半导体集成电路生产用洁净室除应安装产品生产用设备外，一般应具有下列功能设施：

　　—净化空调系统、专用净化设备

　　—洁净建筑及装饰

　　—噪声控制、防微振

　　—防静电、防电磁干扰

　　—电气、照明

　　—高纯物质—高纯水、高纯气、高纯化学品供应

　　—**、报警系统

　　—通信设施……等

洁净室设计是一门综合技术，设计过程的关键专业技术是生产工艺技术及其工艺设计;空气净化专业设计;洁净建筑设计以及各类产品生产所需的专业技术，如微电子产品生产所需的高纯物质—高纯水、高纯气的专业技术等。这些专业技术在洁净室设计中都是不可缺少的，它们之间必须密切配合，围绕着满足产品生产的需要，相互协调、统筹安排，在做好各相关专业设计的基础上，处理好电源、冷源、热源等动力供应，节约能源;设有各项**设施—消防、防火、防爆、**报警确保洁净室的**运行;安排好各类配管配线，确保各种流体介质的输送质量，减少材料消��，方便施工安装和运行维护。

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