在洁净室中，高效过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。因此，高效过滤器安

装或更换后，必须对过滤器的安装连接处进行检漏，以确保洁净室的洁净度符合要求。

洁净度百级状态下悬浮粒子*大准许数为≥0．5~tm3500个／。

1 仪器
  尘埃粒子计数器苏州市长春电子仪器厂CU —BⅡ型

2 实验原理
  应用光散射原理，计数测定时利用光电倍增管接受尘埃粒子反射的光以测定其大小和

数量，并加以分析累计及数字显示。

3 实验方法
  3．1 环境条件：温度控制在18—26℃ ；相对湿度控制在45—65％
  3．2 测试状态：静态测试，室内测试人员不得多于2人。
  3．3 压差：针对室内不同洁净度房间而言，静压差 5Pa，洁净区与非洁净区之问静压

差 10Pa；对工艺过程中产尘量大的房间与其他房间应保持相对负压。
  3．4 测试方法
  3．4．1 将尘埃粒子计数器用注射用水及75％酒精擦试**后再经紫外线照射30分钟

传入洁净区。
  3．4．2 将尘埃粒子计数器水平位置放在桌上。测量塑料管端口接插在过滤器的接嘴

上。
  3．4．3 打开电源。仪器进行tl检、选项后，把测量塑料管从后面板上拔下。端口放

置在需要测量的位置
  3．4．4 检测时采样头离高效过滤器2—4aTl ，沿高效过滤器内边框及中间缓慢扫描

，每块高效过滤器至少测试出5个点，观察显示数据。测试完毕后，将采样塑料管端口接

到尘埃粒子计数器后面板上进行tl检。然后关闭电源。

4 结论
  通过以上测定可以看出3号高效过滤器有泄漏现象。需进行堵漏或更换，过滤器修理或

更换后必须重新进行测试。在正常条件下一般每年至少做一次对高效过滤器检漏测试看

是否发生变化。它是洁净度试验的重要组成部分。