1200℃双温区3路质量供气低真空CVD系统 CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q

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产品型号：CY-CVD1200-50-200×200-3TH-Q

品牌：成越科仪

公司名称：郑州成越科学仪器有限公司

所在地：河南郑州

发布时间：2019-03-05

浏览次数：1055 次

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产品简介

1200℃双温区3路质量供气低真空CVD系统由双温区管式炉、三路质量流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉两个温区分别由精密控温仪表独立控温，通过调节各个温区的温度，该管式炉可以在加热区内形成两段温度梯度或是形成较长的恒温区域。每个温区均可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。1200℃双温区3路质量供气低真空CVD系统炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制炉管内的气氛环境。

产品详细信息

1200双温区3路质量供气低真空CVD系统同时管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。

系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。

适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

技术参数：

真空管式炉	产品型号	CY- O1200-50IIT
	炉管材质	高纯石英
	炉管直径	50mm（可选配60mm、80mm、100mm）
	炉管长度	1000mm
	炉膛长度	440mm
	加热区长	200mm+200mm
	工作温度	0～1100℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	LCD
	密封方式	304不锈钢真空法兰
	法兰接口	1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
	可抽真空	4.4E-3Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
供气系统	产品型号	CY-3Z
	气体通道	3通道
	测量部件	气体质量流量计
	测量量程	A通道：0～100SCCM H2气	备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
		B通道：0～300SCCM N2气
		C通道：0～500SCCM Ar气
	测量精度	±1.0%F.S
	管道耐压	3MPa
	工作压差	50～300KPa
	连接管道	304不锈钢
	控制阀门	304不锈钢针阀
	接口规格	进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
排气系统	机械泵	旋片泵
	抽气速率	1.1L/S
	排气接口	KF16
	真空测量	电阻规
	极限真空	1.0E-1Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
	抽气接口	KF16