<b>Dektak 8 探针轮廓仪(台阶仪)</b> <b>DEKTAK 8</b>
产品简介
Dektak 8 探针轮廓仪(台阶仪)
产品详细信息
技术参数
台阶高度重复性: 7.5Å,1σ在1um标准台阶上
*大晶圆尺寸:200mm
*大样品厚度:25.4mm (1 in.)
每次扫描数据点:*多可达60,000数据点
扫描长度范围:标配*大50mm
垂直范围:标配262um;可选1mm
*大垂直分辨率:1Å (6.55微米垂直范围下)
主要特点
1. 台阶高度测量重复性高
2. 是功能*为强大的探针轮廓仪,可*大限度的满足各种应用需要
3. 简单易用
4. 作为一款桌面型轮廓仪,扫描范围可达200mm
仪器介绍
Dektak 8台阶式探针轮廓仪,结构紧凑,可提供很高的重复性和精度。独特的X–Y方向定位系统可移动到8 x 8 inch区域的任何位置。它不仅能测量台阶高度和表面纹理,还能测量金属蚀刻速率的均匀性、焊点高度、纤维光学元件和显微透镜。全程程序控制的Dektak 8系统对于MEMS,纳米技术和半导体应用都非常方便。
分析方法
1.Dektak 8产品手册
相关资料
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