过程监控光纤光谱仪 AvaSpec- 2048

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产品型号：AvaSpec- 2048

品牌：其它品牌

公司名称：北京爱万提斯科技有限公司

所在地：北京东城

发布时间：2010-08-17

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产品简介

   薄膜分析测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的，用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。

薄膜分析测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的，用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。

该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。功能强大的AvaSoft-TFProbe应用软件不仅包含绝大多数常用材料及膜层的n和k值的内置数据库，并且其独特的算法可以对未知n和k值的膜系进行测量，拟合计算膜系材料的n和k值，并代入算法计算出膜层厚度。

参数指标：

· 光谱范围 200~1100nm 测量速度 2ms minimum 

· 膜厚范围 5nm~50μm  基底厚度 up to 50mm thick 

· 膜厚厚度分辨率 1nm 测量精度 better than 0.25%

· 测量重复性 < 1 Ǻ 支持微区测量及多点位测量

典型应用领域：

· Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..)半导体制造

· Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..)液晶显示器

· Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或材料

· Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，矿物学，颜料，碳粉

· Pharmaceuticals, Medial Devices 制药

· Optical coatings, TiO₂, SiO₂, Ta₂O₅….. 光学薄膜

· Semiconductor compounds 半导体化合物

· Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料

· Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件，例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件，实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。

例如：AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度，并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。

如果您的应用比较特殊，欢迎您与我们的工程师联系，我们丰富的配置经验会帮助您量身定制*合适的光谱测量解决方案！

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光谱仪光纤光谱半导体监测实验室

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