便携式半导体特气检漏仪 XP-703D
产品简介
XP-703D(自动吸引式)便携式半导体特气检漏仪检测对象气体:半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) 检测原理:**型半导体式, 采样方式:自动吸引式 可检测浓度 检测表示:蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 ,应答速度:10秒以内
产品详细信息
XP-703D(自动吸引式) 便携式半导体特气检漏仪
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特点:
*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
型 号 | XP-703D |
检测对象气体 | 半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等) |
检测原理 | **型半导体式 |
采样方式 | 自动吸引式 |
可检测浓度 (单位:ppm) | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
检测表示 | 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 |
应答速度 | 10秒以内 |
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