英国QUORUM紧凑型高真空镀膜仪E6500 E6500

点击查看大图

产品价格： < 面议

产品型号：E6500

品牌：

公司名称：南京覃思科技有限公司

所在地：江苏南京

发布时间：2007-10-16

浏览次数：669 次

立即询价在线咨询

腾讯QQ
MSN

产品简介

E6500高真空镀膜仪具有热蒸镀镀膜仪的大工作距离和样品蒸镀角度可调的优点，同时又融入了紧凑模块化的设计，从根本上缩减了传统高真空镀膜仪的外观尺寸，超小型化全新设计，仪器尺寸只有45 x 25 x 40cm大小。70L/秒的分子泵加上前级50L/秒的机械旋转泵，可以在几分钟内达到要求的ATM-10-5mbar量级的真空度。 
E6500装备了两个热蒸发源，可以是金属和碳棒，安装在腔体内，很容易更

产品详细信息

E6500高真空镀膜仪具有热蒸镀镀膜仪的大工作距离和样品蒸镀角度可调的优点，同时又融入了紧凑模块化的设计，从根本上缩减了传统高真空镀膜仪的外观尺寸，超小型化全新设计，仪器尺寸只有45 x 25 x 40cm大小。70L/秒的分子泵加上前级50L/秒的机械旋转泵，可以在几分钟内达到要求的ATM-10-5mbar量级的真空度。

E6500装备了两个热蒸发源，可以是金属和碳棒，安装在腔体内，很容易更换操作，真空腔室水平布置，样品室门为铰链式，样品放置于装在样品室门内侧的样品台上，样品台角度可以调节以满足复形（TEM覆形及投影）样品的制备要求。

主要特点

1.蒸金、蒸碳在同一腔室内，并可在同一次真空完成
2.适用于SEM和TEM应用，尤其是TEM覆形及投影的应用
3.涡轮分子泵真空系统，无需水冷却
4.水平腔室极大地方便了蒸发源和样品的更换操作
5.*佳的工作距离125mm
6.超高分辨率
7.样品台角度可调节，带有大保护挡板；其操作均为外部调节，无需破坏真空。
8.镀膜厚度均匀，重复性好
9.结构紧凑，整体尺寸小

技术参数

1. 工作电压(Operate Voltage): 10V x 100A 或 20V x 50A
2. 真空度(Vacuum): <10-5 mbar
3. 操作真空（Operating Vacuum）: 1x10-3 mbar~1x10-4 mbar
4. 工作腔室（Chamber）: 190mm直径100mm深
5. 工作距离（Working Distance）: 125mm
6. 样品台（Stage）: 0~90度可调
7. 抽真空系统(Pump System): 70L/秒抽速的分子泵，前级为50L/秒抽速的旋转机械泵;
8. 电源(Power Supply): 220V~240V
9. 蒸发源（Evaporation Sources）：一个金属丝源和一个碳棒源