聚焦离子束系统 FB2200
产品简介
日立FB2200型聚焦离子束系统是新一代样品制备系统，效率高，精度高，质量更高。具有大面积离子束减薄能力，快速制备透射电子显微镜样品。
产品详细信息
日立FB2200型聚焦离子束系统是新一代样品制备系统，效率高，精度高，质量更高。具有大面积离子束减薄能力，快速制备透射电子显微镜样品。
仪器主要特点：
1、60nA离子束电流，提高了样品制备效率
2、原位低加速电压，使样品制备损伤率更低
3、采用日立**超薄样品制备技术（*），可制作出极微小的精度高的薄膜样品
4、与日立其它扫描电子显微镜，透射电子显微镜，扫描透射电子显微镜的样品杆互换共用，可快速简单转移样品，方便下一步观察和分析。
仪器技术参数：
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加速电压
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2 - 40 kV
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*大束流
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60nA 以上
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*大束流密度
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50 A/cm2 以上
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SIM分辨率
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6nm 以上
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放大倍率
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60× - 300,000×
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离子光学
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离子源
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镓（Ga）
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限束光阑
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马达驱动为可选件
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透镜/偏转器
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静电二级透镜/八极静电型偏转
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沉积
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两种气源（钨和碳）
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加工功能
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盒状与矢径扫描图形加工
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图像采集
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*大 2,000 × 2,000 像素
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真空系统
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镜筒
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离子泵 × 2
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样品室
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涡轮分子泵 × 1
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前级真空
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机械泵 × 2（干泵可自选）
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