离子溅射仪溅射喷金的缺点

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离子溅射仪主要适用于扫描电子显微镜镀覆导电膜(金膜)仪器操作,简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。

离子溅射仪主要用途:金、铂、银、钛、铝等离子溅射。

1.溅射电压:1.6KV;
2.金靶尺寸:Φ58mm;
3.真空检测:皮氏计;
4.试样台尺寸:Φ40mm可同时放置6个样品杯;
5.蒸发镀玻璃隔离罩尺寸:内径Φ100mm×高度130mm;
6.真空系统:直联旋片真空泵1L/S;
7.真空保护20Pa,配有微量充气调节阀调节工作真空

离子溅射仪溅射喷金的缺点

由于操作简单方便,在使用溅射喷金时,几乎没有什么顾虑。只是在开始时,用户需要摸索*佳参数以获得*佳喷金效果。另外,溅射喷金有一个更重要的缺点:喷金后表面不再是原始材料,元素的衬度信息会发生丢失。

在某些极端情况下,它可能会导致表面形貌失真或呈现样品的虚假成分信息。然而,在大多数情况下,只要选择合理的喷金参数,操作者既能够获得高质量的成像,又不会损失样品的原始信息。
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