岩崎电气日前开发出一款钻石紫外线监测仪

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点击量: 330242 来源: 仪器仪表与传感器

       岩崎电气日前开发出一款可直接检测低压水银灯(发光波长为185nm)紫外线照度和光量的检测仪——“185nm型钻石紫外线监测仪”,将于2005年9月底上市。受光元件使用光电导型钻石传感器芯片。其特点是具有很高的耐紫外线及耐热性。低压水银灯一般用于胶片与树脂的表面改质、臭氧洗净、半导体干式洗净等工艺。
  除上述传感器外,还采用了蓝宝石窗,因此即使接触到强烈的紫外线,其灵敏度也不会下降。这种蓝宝石窗还具有防止元件受污、受潮的作用。传感器具有遮阳板特性,只能检测140~227nm的紫外线,因此不需滤波器。
  由于耐热性高,灵敏度不会下降,因此能够连续进行测定。可利用紫外线照射光源的不间断监测仪,监视水银灯不亮、或功率不足等异常情况的发生。由于能够管理紫外线照射量,因此还能预测出水银灯的更换时间。