等离子清洗机 PDC200/210/510
产品简介
日本雅马拓等离子清洗机YAMATO雅马拓、等离子清洗机PDC510
产品详细信息
日本雅马拓等离子清洗机，山东总负责，肖先生
YAMATO雅马拓、等离子清洗机PDC510
仪器简介：
研究开发用*适合等离子清洗机
等离子清洗机、用途：
CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理
等离子清洗机、用途：
CSB/BGA/COB基板的等离子处理
有机膜和金属氧化膜的除去
印刷电路基板的干洗
界面活性处理
等离子清洗机、技术参数：
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型号
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PDC200
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PDC210
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PDC510
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模式
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RIE模式（DP选配）
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DP模式
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DP/RIE切换方式
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电极构造
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平行平板电极（固定）
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高频输出功率
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MAX300W
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Max 500W
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频率
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13.56MHz
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控制方式
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自动联动，液晶触摸屏控制
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反应室尺寸
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400×250×150mm
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500×300×200
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电极尺寸
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250×170mm
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400×200mm
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反应室材质
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一次性一体成型铝腔（防腐蚀，可对应CF4）
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反应气体
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2系统（Ar/O2）
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填充气体
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N2/洁净干燥空气
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反应气体流量控制
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流量计
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聚合控制器
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真空泵
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另行选配
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油回旋真空泵（排气量345L/min）
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油回旋真空泵（排气量500L/min）
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气体导入口
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反应气体2套，填充气体1套
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外型尺寸
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540×600×600mm
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540×600×600mm
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700×700×700mm
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电源
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单相AC100V 15A 50/60Hz
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三相AC100V 15A 50/60Hz
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