MKS真空计946 946

MKS 真空计946

上海胤旭机电设备有限公司简介

　　上海胤旭机电设备有限公司，成立于2001年，并且在德国成立分公司。由于我司和国外的多年合作，和国外的很多生产厂建立了合作关系，所以近两年开展了欧洲工业品备件的贸易平台供应采购业务，

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　　MKS 946真空测量与控制系统

　　MKS 946是一种通用的真空计的测量和控制系统，可控制6个不同的真空计或质量流量控制器(MFC)，提供电源并同时读出，可用于控制压力的选择。

　　946这种高灵活性的真空系统控制器支持MKS电容压力计，冷阴极，热阴极，从超高真空到大气以上的测量范围真空计。此外，946系列控制器还可监测与控制MKS 的G系列、P系列、I系列和传统的质量流量控制器，以及MKS压力控制阀门(排气节流阀)。

　　MKS 真空计946特点与优势

　　同步控制与读出6个真空计或质量流量控制器(MFC)

　　压力读数可从10000至10-11Torr

　　可同时支持MKS阀门压力控制回路，减少了对压力控制单独的电子产品的需求

　　RS232/485计算机的控制标准，在所有的系统中集成方便

　　可使用多个质量流量控制器进行流量比值控制

　　包括12个设定点继电器，系统控制有很大的灵活性

　　MKS 真空计946技术参数：

　　显示：320*240的彩色QVGA TFT LCD背光、6通道的压力与流量显示、设定点单元显示指标、PID控制状态和阀位。

　　兼容传感器：MKS电容式压力计、电容式差压计提供0-10V的输出，MKS真空计系列、皮拉尼传感器、冷阴极传感器、裸规与MIG类型。

　　兼容质量流量控制器：MKS G系列、I系列与P系列等MKS传统型质量流量控制器。

　　兼容压力控制阀：MKS 248A、148J、154A(电磁控制阀)、153D和T3Bi。

　　压力测量范围：10000Torr至10-11Torr

　　压力单位：Pa、mbar、Torr

　　流量单位：sccm、slm

　　工作温度：5-40℃

　　电源要求：150W，100-240V 50/60Hz

　　认证：CE、EMC

　　重量：3.6Kg

　　真空测量与控制系统

　　MKS 真空计946是一种通用的真空计的测量和控制系统，可控制6个不同的真空计或质量流量控制器(MFC)，提供电源并同时读出，可用于控制压力的选择。

　　946这种高灵活性的真空系统控制器支持MKS电容压力计，冷阴极，热阴极，从超高真空到大气以上的测量范围真空计。此外，946系列控制器还可监测与控制MKS 的G系列、P系列、I系列和传统的质量流量控制器，以及MKS压力控制阀门(排气节流阀)。

　　MKS 真空计946特点与优势

　　同步控制与读出6个真空计或质量流量控制器(MFC)

　　压力读数可从10000至10-11Torr

　　可同时支持MKS阀门压力控制回路，减少了对压力控制单独的电子产品的需求

　　RS232/485计算机的控制标准，在所有的系统中集成方便

　　可使用多个质量流量控制器进行流量比值控制

　　包括12个设定点继电器，系统控制有很大的灵活性

　　MKS 真空计946技术参数：

　　显示：320*240的彩色QVGA TFT LCD背光、6通道的压力与流量显示、设定点单元显示指标、PID控制状态和阀位。

　　兼容传感器：MKS电容式压力计、电容式差压计提供0-10V的输出，MKS真空计系列、皮拉尼传感器、冷阴极传感器、裸规与MIG类型。

　　兼容质量流量控制器：MKS G系列、I系列与P系列等MKS传统型质量流量控制器。

　　兼容压力控制阀：MKS 248A、148J、154A(电磁控制阀)、153D和T3Bi。

　　压力测量范围：10000Torr至10-11Torr

　　压力单位：Pa、mbar、Torr

　　流量单位：sccm、slm

　　工作温度：5-40℃

　　电源要求：150W，100-240V 50/60Hz

　　认证：CE、EMC

　　重量：3.6Kg

MKS  946控制器订购资料：