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- 产品名称:METONE 3411 便携式空气颗粒计数器
- 产品型号:METONE 3411
- 产品展商:其它品牌
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简单介绍
METONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。METONE 3411 便携式空气颗粒计数器具有业界**的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内*洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
产品描述
METONE 3411 便携式空气颗粒计数器
METONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。METONE 3411
便携式空气颗粒计数器具有业界**的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内*洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
METONE 3411 便携式空气颗粒计数器特点
可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染
热插拔电池-***确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机
测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误
顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411
型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。
灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作
直观的用户界面
简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U
盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!
符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
专用于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。
METONE 3411 便携式空气颗粒计数器技术参数
通道个数
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6
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粒径
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0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
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光源
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氦氖激光器
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重量
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不含电池:15.9 公斤,电池:0.66 公斤
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尺寸
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33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
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机箱材质
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便于清洗的钝化不锈钢
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流速
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1.0 CFM (28.3 LPM)
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零计数
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ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
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符合损失
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在 50,000 /ft3 时,为5%,符合ISO 21501-4标准
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泵的类型
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可供连续使用的**的多瓣闭路循环控制泵
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计数效率
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在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921,粒径大于0.15µm时为 100%
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运行温度
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10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%,无冷凝
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显示
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¼ VGA 彩色 TFT 触摸屏
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打印机
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高速热敏打印机
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语言
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英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文
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可以显示的*大数值
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9,999,999 displayed
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延迟时间
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15秒钟至23小时59分59秒
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采样/停留时间
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1秒钟至23小时59分59秒
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计数警报
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1~ 9,999,999 个计数值
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位置
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编号:0 至 999; 名称:文字描述,显示在打印输出资料上
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数据存储
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5,000 个样品, 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
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输出
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USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP
通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
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锂电池,可充电、可热插拔
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Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
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输入
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空气速度探头,相对湿度/温度探头
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自动 CDA 清洗
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连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活
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电源
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24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
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电池类型
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智能锂电池,可充电,可热插拔
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电池使用时间
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*短 3 小时
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电池的充电时间
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电池的充电时间
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包含电池数量
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2组
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METONE 3411 便携式空气颗粒计数器配置
部件编号
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描述
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2087966-01
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等动力探头1.00 CFM,镀镍铝制3/8“倒钩接头
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960380
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样品管,内径 3/8” ,长 10英尺
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2088035-01
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等动力探头适配器,铝制
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970650
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等动力探头三脚架
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230-300-7052
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24VDC电源输出
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VP623500
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电源线:115VAC, 6' L
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VP623501
|
电源线:115VAC, 6' L
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2087939-01
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零计数过滤器 1CFM
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2087090
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PortAll 软件,CD
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460519
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打印纸,2卷
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280-120-2024
|
2组锂电池
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210-400-5171
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触摸屏手写笔
|
2088010-01
|
128M USD闪存驱动
|
410-150-0011
|
3针微型接线端子
|
410-420-0020
|
接线端子罩壳
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490-200-0001
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无线天线,附带无线版本P / N 2088800-02
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MET ONE 3411 便携式空气计数器可选配件
部件编号
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描述
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CAL_GAS_3411
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3411型的气体校准,包括氦、氩、二氧化碳和氮气
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701241-01
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3400系列IQ / OQ 验证文件(CD)
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2087966-02
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等动力探头1.0 CFM,不锈钢制3/8“倒钩接头
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2089406-01
|
等动力探头支架
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460519
|
打印纸(价格以每卷计)
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280-300-5000
|
智能电源充电器
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280-120-2024
|
智能锂电池
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2088928
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温度和相对湿度探针VAISALA HMP50
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2087939-01
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零点计数过滤器(1.0 CFM型)
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460-400-4798
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电缆,USB2.0 高速,1m
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2084045-02
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Particle Vision PortAll, 2.0.x版,套件,下载工具软件,适配器和说明书(串行电缆需单独购买)
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700011-21
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PortAll 许可标准版
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2088000-01
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过滤器扫描探头(电子式)1 CFM
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2088000-02
|
过滤器扫描探头(无电子式)1 CFM
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2088012-02
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适配器,USB转RS232,USB线缆
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2088012-01
|
适配器,USB转RS485,USB线缆
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2080732-8
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高压扩散器,用于 1.0 CFM 设备。
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