在线微量湿度异动变送器Pura Plus

在线微量湿度异动变送器PuraPlus

品牌：密析尔

产地：英国

湿度变送器Pura Plus产品简介

新型的Pura Plus是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的*新需求变化而特殊设计的。Pura Plus是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应*末端，用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中Pura Plus能够提供快速的响应指示，在20 ppb湿气级别下1 ppb的异动的响应时间小于1 分钟。

湿度变送器Pura Plus产品特点

对ppb级别湿度异动的快速响应  

高灵敏度 ，实时监测

多点测量安装的全新概念

小巧经济

信号灯式的状态指示

警告和报警点设置可编程

Modbus 网络兼容 

远程控制界面的多通道软件

(UHP) 超纯气体的管线检测 

湿度变送器Pura Plus技术参数

响应速度 ：<1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间

湿度量程 ：1 ppb to 20,000 ppm

压力范围 ：0 to 10 bar

耐压等级 ：300 bar

泄漏测试 ：0-9 mbar l/s

工作流量范围：1 ~ 10 l/min

工作温度 ：5 ~ 40°C

存储温度 ：30 ~ 70°C

电    源 ：20 ~ 28 V DC

功    耗 ：5 W *大

外部保险丝等级：500 mA 快熔型

数据输出 ：Modbus ASCII 两线 RS485

警告和报警输出：2 路

*大电压 ：40 V DC

*大电流 ：100 mA

外壳材质 ：不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra 

传感器结构 ：氧化铝电解质, 上层镀金保护, 下层铝层

内部容积 ：4.4cm³

重    量 ：450g

气路接口 ：1/4" m VCR

电气接口 ：9 - 针 D - 型 m 接口

电磁兼容性 ：EN50081-2 和 EN50082-2