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- 产品名称：等离子灰化机
- 产品型号：PR500/510DP
- 产品展商：日本雅马拓
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简单介绍
日本雅马拓低温等离子灰化机、经典桶型：采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510),提高了操作性及**性，等离子灰化机是一款小型紧凑型的等离子处理设备
产品描述
日本雅马拓等离子灰化机、高频输出 50~500W 反应腔 Φ215×305mm
等离子灰化机、低温等离子·经典桶型。
PR500：手动控制
PR510：自动触摸屏控制
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及**性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
等离子灰化机、用途
●去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应
等离子灰化机、特征
● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式（PR510型）
等离子灰化机、内槽
硅晶圆灰化状态
等离子灰化机、规格
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型号
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PR500
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PR510
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模式
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DP模式，桶型
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控 制 部
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高频输出功率
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Max500W
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频率
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13.56MHz
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同调方式
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自动协调
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反 应 部
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反应腔
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石英 Φ215×305mm
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反应气体
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2系统（O 2 ／CF 4 ）
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控制
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手动
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触摸屏自动控制
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配管材质
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不锈钢、特氟龙
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外形尺寸
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W438×D520×H760mm
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参照规格书
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重量
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约60kg
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参照规格书
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电源
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单相AC100V 9A
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三相AC200V 8A
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