光切法显微镜的测量
狭缝被光源发出的光线照射后,光切法显微镜通过物镜发出一束光带以倾斜45°方向照射在被测量的表面。具有齿状的不平表面,被光亮的具有平直边缘的狭缝像的亮带照射后,表面的波峰在S点产生反射。
轮廓平面度的测量
光切法显微镜为测量表面轮廓平面度,需使狭缝平行的分划水平线与狭缝清晰边缘(下面边)*高点相切。然后记上在目镜分划板与测微鼓上的读数,再使十字线的水平线与狭缝隙清晰边缘*低点相切,**次记下分划板与鼓轮的读数,两次读数之差为:
a = —— (2) ,将式(2)中的N代入式(1)后得
h = ——(3),式中:a—分划板的两次读数差。
为求出平面度平均高度值RZ,要求取被测轮廓的五个*高点(峰)和五个*低点(谷)之间的平均读数a平均,再按式(3)计算出h,即平面度平均高度值RZ,再可按表2查出表面粗糙度等级。
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