ACM200电容薄膜真空计ACM200-13TBA
ACM200 电容薄膜压力计，通常安装在真空腔体或管道上，读取实时压力，±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的，广泛用于半导体工程和真空工业设备。
特点
直接测量方式测量压力
无关气体组分影响
可应用于腐蚀性气体环境，适合于各类制程应用
可搭配Atovac仪表，实时显示
测量范围从10E-4Torr至1000TOrr，覆盖大多数制程压力范围
规格
压力范围（满量程）
1、2、10、100、1000
低压力
0.01%满量程
精度
±0.25%读数
可选：±0.15%读数
温度效应
零点
跨度
0.002% 满量程/°C
0.02% 读数/°C
工作环境温度
0℃至50℃
暴露于气体中的材料
铬镍铁合金
泄漏率
1x10-8sec/sec He
大压力
310Kpa
电源要求
±15VDC (±5%) @ 35 mA
输出信号
0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
法兰
8 VCR, NW16KF