英福康INFICON SQC-310 薄膜沉积控制器 INFICON 昆山苏州南京英福康薄膜控制仪 南通合肥武汉重庆SQC-310 薄膜沉积控制器INFICO

SQC-310 薄膜沉积控制器

高精度连续镀膜控制或共镀膜控制

凭借先进的技术、完善的显示和实惠的价格，INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪无法企及的优势。可以选择适合您应用的理想型号：连续镀膜 (SQC-310) 或共镀膜 (SQC-310C)。

功能

• 明亮的彩色 LCD 显示屏 - 提供英文或中文版本
• 标准 RS-232 和 USB（可选 RS-232 和以太网）
• 设有“Quick Setup”（快速设定）菜单、6 个区分上下文按钮以及一个简便的参数设定旋钮，易于设定和操作
• 用于开发、测试和下载过程的 Windows^® 程序，以及用于将仪器数据记录到 PC 进行过程分析与质量控制的 Windows 程序
• **的过程控制，尤其适用于低沉积速率，测量速率为每秒 10 个读数，测量分辨率为 ±0.03 Hz
• 存储容量可达 100 个过程、1000 层薄膜、50 种薄膜材料
• 使用单传感器或多传感器监控源材料，提供**的源分布监控

  规格

  类型		SQC-310	SQC-310C
  测量
  QCM 输入		2 (4 optional)	4
  测量频率范围		Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum
  频率分辨率 (1)		± 0.012 Hz	± 0.012 Hz
  厚度和速率分辨率/测量 (2)		±0.015 Å	±0.015 Å
  频率稳定性		± 2 ppm total, 0 to 50C	± 2 ppm total, 0 to 50C
  测量周期		0.10 to 1.0 s (adjustable)	0.10 to 1.0 s (adjustable)
  速率显示		0.01 Å/sec	0.01 Å/sec
  控制
  存储		100 processes, 1000 layers, 50 films	100 processes, 1000 layers, 50 films
  控制输出		2 (4 optional)	4
  输出信号		± 0 to 10 VDC, 15 bits	± 0 to 10 VDC, 15 bits
  数字输入/继电器		8/8 (16/16 optional)	16/16
  数字输入		5 VDC non-isolated	5 VDC non-isolated
  继电器		SPST Form 1A, 30V, 2A max	SPST Form 1A, 30V, 2A max
  接口		Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)	Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional)
  远程电源控制		Optional (IPN 782-900-017)	Optional (IPN 782-900-017)
  显示器
  类型		1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD	1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD
  图表		Rate, deviation, power or full screen numeric	Rate, deviation, power or full screen numeric
  一般
  功率		100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W	100-240 VAC, 50/60 Hz, 25 W
  合规性		CE, RoHS	CE, RoHS
  Windows® 软件		Included	Included
  壳体/安装		5 1/4” half-rack	5 1/4” half-rack

  (1) 0.25 秒测量间隔的分辨率
  (2) 工具/密度 = 100/1，基础频率= 6 赫兹，0.25 秒测量间隔

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