四探针薄膜厚度测试仪 CY- SZT 郑州成越科学仪器有限公司

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简单介绍：

四探针测试仪用于半导体、薄膜、导电涂层等材料的电学性能测试。四探针薄膜厚度测试仪核心作用是消除接触电阻和引线电阻的影响，从而获得更准确的测量结果

详情介绍：

四探针测试仪是运用四线法测量原理的多用途综合测量装置，配上专用的四探针测试架，就可以测量片状，块状或柱状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。四探针测试架有电动，手动，手持三种可以选配，另外还配有四个夹子的四线输入插头用来作为测量线状或片状电阻的中，低阻阻值.

四探针测试仪（Four-Point Probe）是一种用于测量材料电阻率（resistivity）和薄层电阻（sheet resistance）的高精度仪器，尤其适用于半导体、薄膜、导电涂层等材料的电学性能测试。其核心作用是消除接触电阻和引线电阻的影响，从而获得更准确的测量结果。

典型应用场景：

半导体行业：硅片、GaAs等晶圆的电阻率测试。掺杂工艺后的电学性能验证。

薄膜材料：ITO（透明导电膜）、太阳能电池薄膜、金属镀层的薄层电阻测量。

科研领域：纳米材料（石墨烯、碳纳米管）、有机半导体材料的导电性分析。

工业生产：液晶显示（LCD）、柔性电路（FPC）的导电涂层质量控制。

四探针测试仪技术参数：

产品名称	四探针测试仪
产品型号	CY- SZT
测量范围	电阻率	10⁻⁴-105Ω-cm
	方块电阻	10⁻⁴- 105Ω/□
	电阻	10-⁴- 105 Ω
可测半导体材尺寸	直径	Ф15-100mm
可测半导体材尺寸	长（或高）度	≤400mm
测量方位	轴向，径向均可
数字电压表	量程	20mV,200mV,2V
	误差	±0.5%读数±2字
	输入阻抗	>10⁸Ω
	分辨率	10μV
	点阵液晶显示	过载显示
恒流源	电流输出	共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五挡可通过按键选择，各挡均为定值不可调节，电阻率探头修正系和扩散层方块电阻修正系数均由机内CPU运算后，直接显示修正后的结果
恒流源	误差	±0.5%±2字
四探针测试头	探针间距	1mm
	探针机械游移率	±1.0%
	探针材料	碳化钨(或高速钢),Ф0.5mm
电源	交流	220V±10%
电源	功耗	<35W

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产品名称：四探针薄膜厚度测试仪