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本设备为桌面型石英腔体单靶磁控溅射镀膜仪，可用于金属薄膜的制备，在电子领域、光学领域、特殊陶瓷制备等领域均有应用，也可实验室SEM样品制备。
本套配置采用石英真空腔体，镀膜过程全向可视，便于实验的观察记录，腔体设计开启方便，易于清理，十分适合实验室使用。同时设备配有旋转加热样品台，可以有效提高薄膜的均匀性和成膜的质量。整机采用模块化设计，操作逻辑简单，操作界面直观，利于上手
技术参数：
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产品名称 |
小型台式单靶磁控溅射镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-MSZ180-I-DC-Q |
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样品台 |
外形尺寸 |
φ100mm |
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震动频率 |
20Hz-20000Hz |
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磁控靶枪 |
配一支两英寸磁控靶，靶材尺寸:直径50mm，厚度≦3mm |
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真空腔体 |
腔体尺寸 |
φ180mm X 200mm |
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观察窗口 |
全向透明 |
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腔体材料 |
高纯石英 |
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开启方式 |
上盖拆卸式 |
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真空系统 |
前级泵 |
低噪音双极旋片泵 |
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分子泵 |
低噪音大抽速涡轮分子泵 |
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真空测量 |
复合真空计，量程:10-5~105Pa |
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抽气接口 |
KF40 |
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排气接口 |
KF16 |
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系统真空 |
1.0×10-4Pa |
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供电电源 |
AC 220V 50/60Hz |
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抽气速率 |
分子泵抽速600L/s，前级泵抽速1.1L/s |
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电源配置 |
电源数量 |
直流电源一套 |
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输出功率 |
300W |
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其他参数 |
供电电压 |
AC220V,50Hz |
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整机功率 |
2kW |
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整机尺寸 |
550mm X 350mm X1200mm |
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