换位自转等离子镀膜仪 CY-PLZ180-I-DC-Q 郑州成越科学仪器有限公司

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产品名称：换位自转等离子镀膜仪
产品型号：CY-PLZ180-I-DC-Q
产品厂商：成越科仪
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简单介绍：

本型号等离子溅射仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验，本设备配备换位自转式样品台，用户可以在触控屏上实现一键换位，样品台可在两个靶位自由切换，本设备体积小巧造型美观功能强大，是实验室镀膜试验的*佳选择。

详情介绍：

本型号换位自转等离子镀膜仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型换位自转等离子镀膜仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。换位自转等离子镀膜仪配备换位自转式样品台，用户可以在触控屏上实现一键换位，样品台可在两个靶位自由切换，到位后样品台还可进行自转，以增强镀膜的均匀性。另外客户可以选配晶振式膜厚仪对膜厚进行监测，以提高镀膜的精准度。

本设备体积小巧造型美观功能强大，是实验室镀膜试验的*佳选择。

换位自转等离子镀膜仪技术参数：

产品名称	换位自转等离子镀膜仪
产品型号	CY-PLZ180-I-DC-Q
样品台	尺寸	60mm
样品台	到靶面距离	可在两个靶位间自动切换
等离子溅射靶	数量	2英寸x1
等离子溅射靶	冷却方式	自然冷却
真空腔体	腔体尺寸	φ180mm X 150mm
	观察窗口	全向可视
	腔体材料	高纯石英
	开启方式	顶盖拆卸式
	上下盖材质	304不锈钢
	抽气接口	KF25
	进气接口	1/4英寸卡套接头
电源配置	数量	直流电源x1
	输出功率	*大150W
	溅射电源	3000V
	*大溅射电流	50mA
真空系统	真空泵类型	双极旋片真空泵
	抽气接口	KF25
	排气接口	KF16
	抽气速率	1.1L/s（4m³/h）
	极限真空度	≥1Pa
	真空测量	电阻真空规
其他	供电电源	AC 220V 50Hz
	整机功率	1.5KW/2KW（旋转加热）
	整机尺寸	570mm X 450mm X450mm
	整机重量	30kg

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