使用通常扫描电子显微镜时，面临*大困难之一是被测样品的大小限制，通常情况下，只能对直径在数十到一百毫米内小的样本进行研究且只有一两种关联的分析工具，这限制了这一重要测试技术的应用。LC-SEM克服了这一点，其超大真空室和光学系统扩展视图功能*大可容纳直径与高度分别达1.5米，重300kg的样品，分辨率优于10纳米，放大倍数10倍-30万倍，真空度10-6毫巴，加速电压30kv。从一粒沙子到一个柴油发动机大小的样品，不必切小，仅用一台仪器就可以做**的检查。其足够大的空间还可进行原位观察，实现零部件疲劳、应力/应变、磨损等非破坏性试验研究。