新型的 Pura Plus 是密析尔仪表针对晶圆工业对于设备尺寸和指标的*新需求变化而特殊设计的。Pura Plus 是一款在线微量湿度异动变送器，多路安装在半导体工厂内通向生产线的气体供应*末端，用来监测超纯惰性气体的应用。工厂内气体系统分布复杂，涉及到很多分支、节点和使用点。因此在常规的湿度监测点后，会由于微量的泄漏、低效的系统设计、元件故障或过程出错等等原因导致湿气渗入，影响下游使用。而安装在分布系统中的 Pura Plus 能够提供快速的响应指示，在 20 ppb 湿气级别下
1 ppb 的异动的响应时间小于1 分钟。 技术指标 | | 响应速度 | <1 分钟 20 ppb 湿气变动1 ppb 的响应时间 | | 湿度量程 | 1 ppb to 20,000 ppm | | 压力范围 | 0 to 10 bar | | 耐压等级 | 300 bar | | 泄漏测试 | 0-9 mbar l/s | | 工作流量范围 | 1 ~ 10 l/min | | 工作温度 | 5 ~ 40°C | | 存储温度 | 30 ~ 70°C | | 电源 | 20 ~ 28 V DC | | 功耗 | 5 W *大 | | 外部保险丝等级 | 500 mA 快熔型 | | 数据输出 | Modbus ASCII 两线 RS485 | | 警告和报警输出 | 2 路 | | *大电压 | 40 V DC | | *大电流 | 100 mA | | 气体接触的材质 | | 外壳材质 | 不锈钢 AISI 316L, 内表面电抛光 <10 Ra | | 传感器结构 | 氧化铝电解质, 上层镀金保护, 下层铝层 | | 内部容积 | 4.4cm³ | | 重量 | 450g | | 气路接口 | 1/4" m VCR | | 电气接口 | 9 - 针 D - 型 m 接口 | | 电磁兼容性 | EN50081-2 和 EN50082-2 |
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