无尘室空气洁净度标准
■ 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
空气洁净度等级(N)
大于或等于表中粒径的*大浓度限值(pc/m3)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
1
10
2
100
24
4
3
1000
237
102
35
8
10000
2370
1020
352
83
5
100000
23700
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7
352000
83200
2930
3520000
832000
29300
9
35200000
8320000
293000
■ 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）
洁净度级别
粒 径 (um)
0.1
0.2
0.3
0.5
5.0
35.0
7.50
3.00
1.00
NA
350
75.0
30.0
10.0
750
300
7.0
70.3
700
单位：尘埃数量个/ft3