监测和控制特殊气体中微量杂质的完整解决方案
我们的氧气和水分分析仪和传感器,连同过程气相色谱仪,提供了一个完整的解决方案来监测和控制惰性气体、特殊气体和有毒气体的纯度,如:氮气(N2)、氦气(He)、氩气(Ar)、氧气(O2)、氢气(H2)、六氟化钨(WF6)、八氟环丁烷(C4F8),硅烷(SiH4)、锗烷(GEH4)、一氧化二氮(N2O)和三氟化氮(NF3)。
产品选择
高纯气体中的微量氧
应用/服务
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测量范围
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测量气体/背景气
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推荐产品
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高纯气体中氧污染的监测
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0-100ppb
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N2, H2, Ar
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PI2-UHP100 & PI2-MS1000
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监测大气钎焊和退火铜膜用高纯氢**剂气体的氧污染
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0-100ppb O2
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N2, H2, Ar
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PI2-UHP100 & PI2-MS1000
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样气杂质
样气
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范围
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AR(ldl)
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H2(ldl)
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CO2(ldl)
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NMHC(ldl)
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N2
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CO(ldl)
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CH4(ldl)
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氦
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0-500ppb
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80ppt
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95ppt
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95ppt
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100ppt
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85ppt
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95ppt
|
95ppt
|
氦
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0-500ppb
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x
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100ppt
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95ppt
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100ppt
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95ppt
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95ppt
|
95ppt
|
氦
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0-500ppb
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80ppt
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100ppt
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100ppt
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100ppt
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100ppt
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100ppt
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100ppt
|
氦
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0-500ppb
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95ppt
|
x
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95ppt
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100ppt
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90ppt
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95ppt
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95ppt
|
氦
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0-500ppb
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80ppt
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95ppt
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95ppt
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100ppt
|
x
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95ppt
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100ppt
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检测下限
注:噪音水平是基于使用氦保护气体的噪声峰值
组分
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浓度 (ppb)
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峰高 (mV)
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噪音(mV)
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LDL (3 倍噪音) (ppt)
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氦
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1.335
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5.056
|
0.056
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44ppt
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二氧化碳
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1.108
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4.304
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0.118
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91ppt
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非甲烷总烃
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1.057
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4.068
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0.072
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56ppt
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氮
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1.661
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4.906
|
0.056
|
57ppt
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一氧化碳
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0.885
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3.605
|
0.113
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83ppt
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甲烷
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1.060
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4.635
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0.057
|
40ppt
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