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超净工作台的结构
     空气经过过滤的生产环境首先被航空航天工业使用。即使一个极其微小的缺陷都可造成卫星运作失误，因此，NASA（美国航空航天中心）和其服务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且开创了许多基本的污染控制理念，其中包括从运作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。
　　
　　半导体工业采用了许多这方面的技术。然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人运作的大型车间后，很难保持其固有的洁净度。早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为 超净运作台 法。这个主要是把过滤器装在单个运作台上，并使用无脱落的物质。在运作台以外，晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。
　　
　　在大型车间中按顺序排列的 超净运作台 （叫做运作层流罩）组成加工区，使晶圆依工艺次序经过而不从露于空气中。洁净运作罩中的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器（HEPA高效过滤器）。这些过滤器是由含许多小孔，并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成，由于高密度的小孔与大面积的过滤层，使得大量的空气低速流过。由于低速空气可避免产生空气流，有利于运作台的洁净度，并且对于操作员而言，在舒适的环境中运作也是必要的。典型的空气流量6为每分钟90到100英寸。HEPA过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率，并可用于三种净化方法中。
　　
　　一般来说，HEPA高效过滤器装于超净运作台顶部。空气由风扇吸入先通过前置过滤器，再通过HEPA过滤器，并以均匀平行的方式流出，在运作台表面改变方向，流出运作台。安装档板可控制晶圆表面空气流动方向，通常这种方式称为空气层流立式式 超净运作台 ，它是由空气流的方向命名的。有些运作台把HEPA过滤器装于运作台后部，这种方式被称为空气层流平行式运作台。

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