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- 产品名称:VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪
- 产品型号:
- 产品展商:科晶
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- 发布时间:2018-10-31
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简单介绍
VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪,包含一个2英寸水冷靶头(另有1英寸靶头可选)和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形,甚至损坏样品;样品台可旋转,可以使样品边旋转边镀膜使镀膜后的样品表面膜后均匀。设备外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用。VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制,操作方便直观。
产品描述
产品型号
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VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射仪
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技术参数
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1、输入电源:220VAC 50/60Hz
2、溅射电流:0-150 mA可调
3、功率:<2KW
4、输出电压:1600VDC(max)
5、溅射腔体
(1).采用石英腔体,尺寸:166mm OD x 150mm ID x 290mm H
(2).密封:采用O形密封圈密封
6、溅射头&样品台
(1).二英寸带水冷的磁控溅射头(注意:水冷机不是标配)另有1英寸靶头可选
(2).一个直径50mm不锈钢样品台,样品台可旋转,旋转速率0-5 RPM
(3).安装有一可手动操作的溅射挡板
(4).样品台和靶头之间的距离可以调节,调节范围:30-80mm
(5).靶头支架,可以在非溅射状态放置溅射靶头
(6).溅射面积:4英寸(max)
7、控制面板
6" PLC集成触摸屏控制面板,可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度
8、真空系统
(1)安装有KF25真空接口
(2)数字真空压力表(Pa)
(3)此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含)
(4)采用机械泵 <1.0E-2 Torr
(5)采用涡旋分子泵 <1.0E-5 Torr
(6)可在本公司选购各种真空泵
9、进气
含一个控制进气的针阀和一个放气阀,本设备接气需要安装减压阀
10、靶材
(1)靶材尺寸要求:Φ50mmx(0.1-2.5) mm(厚度)
(2)适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Ti,等金属(可在我公司选购)
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产品规格
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1、产品外型尺寸:(L)460 mm × (W)330 mm × (H)520 mm
2、净重:20 kg(不包含泵及水冷机)
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可选配件
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薄膜测厚仪
加热样品台
浮子流量计
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