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- 产品名称：GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪
- 产品型号：GSL-1800X-ZF2
- 产品展商：科晶
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- 发布时间：2015-08-04
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简单介绍
GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及进行微小产品真空镀膜工艺研究、样板试制、操作培训和生产的单位。GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪在蒸发镀膜过程中样品台可以进行旋转，使蒸发的薄膜材料在样品表面均匀分布。配有两组蒸发单元，一个钨舟，一个钨丝篮；钨舟中可以放粉末状的薄膜材料，钨丝篮中可以放条状或块状薄膜材料。控制屏采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，TFT式显示器具有高响应度、高亮度、高对比度等优点，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪使高真空的蒸发镀膜设备，真空度可达3.0×10-4torr。
产品描述
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产品名称
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GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪
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产品型号
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GSL-1800X-ZF2
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安装条件
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本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）
2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地
3、工作台：落地式，占地面积2m2以上
4、通风装置：需要
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主要特点
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1、采用桌面小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3打印机相仿。
2、采用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。
3、配有0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。
4、可选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。
5、可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制（选配）。
6、本机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不同的需求对相应模块进行组合，以达到极 佳的镀膜环境，并便于用户维修与维护。
7、操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。
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技术参数
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1、电源：AC220V 1500W
2、蒸发电源功率：1000W 5V 200A
3、蒸发电极有效距离：44mm
4、样品台：Ø120mm（可旋转）
5、膜厚测量精度：0.1 Å或0.01Å（可选配高精度型）
6、外接真空机组：扩散泵机组（可选配国产110机组或进口机组）（不建议使用扩散泵）
7、极限真空度：>3.0×10-3torr（扩散泵）、3.0×10-4torr（分子泵）（不建议使用扩散泵）
8、工作真空度：5.0×10-3torr （加热为100℃-1）
9、真空接口：KF40
10、使用环境：温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m
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产品规格
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尺寸：440mm×240mm×260mm（不包括真空机组）；重量：约47kg（不包括真空泵）
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