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- 产品名称：SE-Mapping光谱椭偏仪
- 产品型号：
- 产品展商：科晶
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- 发布时间：2013-06-08
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简单介绍
SE-Mapping光谱椭偏仪是一款可定制化Mapping绘制化测量光谱椭偏仪，采用行业前沿**技术，配置全自动Mapping测量模块，通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。SE-Mapping光谱椭偏仪广泛应用OLED，LED，光伏，集成电路等工业应用中,实现大尺寸全基片膜厚、光学常数以及膜厚分布快速测量与表征。
产品描述
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产品型号
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SE-Mapping光谱椭偏仪
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主要特点
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1、全基片椭偏绘制化测量解决方案
2、支持产品设计以及功能模块定制化，一键绘制测量
3、配置Mapping模块，全基片自定义多点定位测量能力
4、丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力
5、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)
6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采集
7、具备全基片自定义多点自动定位测量能力，提供**膜厚检测分析报告
8、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料
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技术参数
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1、自动化程度：固定角+ mapping
2、应用定位：检測型
3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R等光谱
4、分析光谱：380-1000nm(可��至193-2500nm)
5、单次测量时间：0.5-5s
6、重复性测量精度：0.01nm
7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200um
8、入射角调节方式：固定角
9、入射角范围：65°
10、找焦方式：手动找焦
11、Mapping1程：300x300mm
12、支持样件尺寸：*大至300mm
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可选配件
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3
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真空泵
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4
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透射吸附组件
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