质谱室不同质量的粒子在电磁场中运动后,超声波检漏仪按照质量大小将它们依次分开排列的技术。利用质谱原理制成的仪器叫质谱仪或质谱计。专门检漏用的质谱仪叫质谱检漏仪。由于多数示漏气体选择用氦气,所以允许把分辨率调试得较低而灵敏度调的很高。
氦质谱检漏仪是目前国际公认、用的*广、灵敏度很高的一种检漏仪器,超声波检漏仪超声波其中用得*多的是90°和180°磁偏转质谱仪:近些年来,四极质谱计在检漏仪中也得到了较多的应用。20世纪60年代,我国氦质谱检漏仪性能已达到国际先进水平。在以后的四十多年中,实用检漏技术的应用水平有了长足发展,仪器的自动化、小型化、可靠性等也有了很大提高,超声波检漏仪不仅满足了国内需要,而且还销往国外。氦质谱检漏仪除灵敏度高外,还具有适应范围广、定位丁来给准确、五毒、**、反应速度快等特点。
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