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用 途:
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
技术参数：
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满量程流量范围（N2） |
5SCCM～30SLM |
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控制范围 |
2～100％F.S. |
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阀类型（及阀初始状态） |
电磁调节阀（常闭） |
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准确度 |
≤10SLM |
±1％F.S. |
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＞10SLM |
±2％F.S. |
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线性 |
≤10SLM |
±0.5～1％F.S. |
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＞10SLM |
±2％F.S. |
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重复精度 |
±0.2％F.S. |
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响应时间 |
≤4sec |
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工作温度范围 |
5～45℃ |
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工作压差 |
≤10SLM |
0.1～0.5MPa |
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＞10SLM |
0.1～0.3MPa |
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耐压 |
3MPa |
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漏气率 |
1×10-9SCCSHe |
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密封材料 |
氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶 |
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接头选择 |
VCR |
1/4”或φ4hose、φ6hose |
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Swagelok |
1/8”、1/4”或φ3、φ6mm |
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电插头形式 |
DB15 pin(Male) |
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抗电磁干扰 |
CE |
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重量 |
0.95Kg |
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主要特点：
★高精度，快响应型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头
★国际兼容
