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椭偏仪的工作原理


 

    当一束光线倾斜入射到一表面或薄膜上时,平行于入射面振动的 p偏振分量和垂直于入射面振动的s偏振分量在满足切向分量连续的边界条件下,因入射媒质、基片和薄膜材料对于p偏振和s偏振有不同的光学反射系数,在表面或薄膜上反射时,p偏振和s偏振的反射振幅和反射位相也各不相同。当入射光是一束线偏振光时,在一般情况下,从表面或薄膜上反射后,p偏振和s偏振之间产生了不同的振幅衰减和相对位相差墹=p-S(pS别是p偏振和s偏振的位相差)。反射光电矢量终端的轨迹是一椭圆,称为椭圆偏振光。

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