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- 产品名称：Olympus MX51
- 产品型号：Olympus MX51
- 产品展商：其它品牌
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- 发布时间：2018-08-11
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简单介绍
Olympus MX51 奥林巴斯 MX51显微镜
● 紧凑的设计实现*小的占地空间
● 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
● 标配158X158mm手动移动载物台(*大可用于200mm晶圆检查)
● 选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
● 采用防静电设计,极大方便磁头检查
● Olympus MX51 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
产品描述
奥林巴斯 Olympus MX51
OLYMPUS MX51 产品特性
● 紧凑的设计实现*小的占地空间
● 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
● 标配158X158mm手动移动载物台(*大可用于200mm晶圆检查)
● 选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
● 采用防静电设计,极大方便磁头检查
● 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准
OLYMPUS MX51 技术规格
MX51 光学系统:
UIS (无限远矫正) 光学系统
MX51 显微镜镜体:
Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)
行程相同：15mm(配合透射光照明)
Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)
调焦机构张力可调
有调焦上限位机构
MX51 照明系统:
BX-KMA明视场照明器
BX-RLA2明视场/暗视场照明器
BX-URA2万能照明器
MX51 透射照明:
明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件
(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)
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