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- 产品名称:晶圆,光掩膜和基板清洁系统
- 产品型号:SCS112 SCSe124 SCSe126
- 产品展商:其它品牌
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- 发布时间:2020-04-08
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简单介绍
介绍:
SCS112型是一款高效率手动型的系统,专门设计用于在划片或划片后清洗晶片。可通过施加高压DI水射流或雾化喷嘴来清洁安装在环(抓环)或胶片框架上的晶圆,然后使用高转速,氮气辅助或红外加热灯进行快速干燥。该系统*大可处理8英寸晶圆。
产品描述
功能:
• 可处理高达8英寸的晶圆,包括未安装的晶片以及胶带环形和薄膜框架安装晶片。
• 振荡高压直流水,风扇射流组装(取决于高达1500或2000磅/平方英寸 配置上)或雾化喷雾喷嘴,高效清洁。
• 快速有效干燥的氮气吹扫和循环结束时的氮晶片提升。
• 微处理器控制并储存多种配方。
• 直流无刷主轴电机变速。
• DI水净化,营造无**系统。
• 内置**联锁和正极盖,运行期间锁定。
选项:
• 托盘,*大可装载8英寸晶片
• 用于干燥的红外线加热灯
• 消除静电的二氧化碳再生离子器
• 内置排气鼓风机
• 真空发生器
产品参数:
• 产品:晶圆,光掩膜和基板清洁系统
• 型号:SCS112
• 可用机械臂:1
• *大基板尺寸:高达8英寸的晶圆片
• *大主轴速度:2500
• 配方:*多3
• 分配:1
• 尺寸:26英寸宽x 21英寸深x 40英寸高
• 重量:约200磅
• 功率:220伏交流电,10安培,50/60赫兹
主营产品:
Laurell匀胶机
Harrick等离子清洗机
Thetametrisis膜厚仪
Microxact探针台
ALD原子层沉积系统
TRION反应离子刻蚀机
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻机
Novascan紫外臭氧清洗机
Nilt纳米压印机
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板
Annealsys高温退火炉
Kinematic程序剪切仪
Laurell EDC系统,湿站系统
Wabash/Carver自动压片机
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