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- 产品名称：纳米压印机
- 产品型号：CNI v2.1
- 产品展商：丹麦Nilt
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- 发布时间：2020-02-07
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简单介绍
CNI v2.1是一种非常灵活的纳米压印机。它可提供加热型纳米压印、UV紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置，体积小，容易存放，*大可处理Ø100毫米（4英寸）所有形状和格式的印章和基板。该系统是手动装卸印章和基板，但所有处理器都是全自动的，专用软件用户可以完全控制压印过程。
产品描述
纳米压印机应用：过去五年中，石墨烯的气体传感器引起了极大的兴趣，显示出单分子检测。
*近的研究表明，与非图案化层相比，石墨烯的图案化强烈地增加了灵敏度。
通过标准程序生长CVD石墨烯，然后转移到Si/SiO 2基板上进行进一步处理。
如（Mackenzie，2D Materials，[http://dx.doi.org/10.1088/2053-1583/2/4/045003]中所述，使用物理阴影掩模和激光烧蚀来定义接触和器件区域。
使用软压印在CNI v2.0中进行热纳米压印光刻，将mr-I7010E压印抗蚀剂在130℃，6巴压力下压印10分钟，压力在70℃下释放。
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