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- 产品名称：三温区1500℃ PECVD系统-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
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- 发布时间：2018-03-31
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简单介绍
三温区1500℃ PECVD系统-OTF-1500X-III-4CV-PE-SL
产品描述
OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统，它是由500W的射频电源，1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。
技术参数
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三温区开启式1500℃管式炉
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*高工作温度1500℃
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连续使用温度1400℃
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三个温区分别由三个温控系统来控制，都可设置30段升降温程序
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每个温区长度为200mm
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总温区长度为600mm
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炉管为高纯刚玉管
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炉管尺寸：（标配）60 O.D x 53 I.D x 1500mm L
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炉管尺寸：（选配）80 O.D x 73 I.D x 1500mm L
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输入电源： 208 – 240V AC，单相
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*大功率：6.6KW
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配有一对不锈钢真空密封法兰，法兰上带有石英观察窗口
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内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料）
 
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射频电源
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输出功率: 5 -500W ± 1% .
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射频频率: 13.56 MHz ±0.005% .
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反射功率: *大 200W
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匹配: 自动
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射频接口: 50 Ω, N-type
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噪音: <50 dB.
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冷却: 风冷.
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电源: AC 208-240V, 50/60Hz
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防腐型真空计
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输入电源 24V，1A DC（配有一电压转换器）
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测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr.
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数据显示 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
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接头 1/8"NPT 接头
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产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
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真空系统
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采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr
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KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
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管内真空可达10E-2 Torr
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质量流量计混气系统
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四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制.
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MFC 1范围: 0~100 sccm
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MFC 2和3: 0~200 sccm
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MFC 4范围: 0~500 sccm
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一个混气罐，底部装有泄废液口.
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4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.
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进气口: 4个1/4NPS.
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出气口: 4个 1/4NPS.
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采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制
 
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温控系统
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三个温区分别由三个温控系统控制
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采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
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带有超温和断偶保护
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控温精度：+/- 1 ºC
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控温仪表操作视频
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可选;此款设备可以安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑
  
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外型尺寸
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炉体：550 x 380 x 520 mm
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炉体下端移动柜：1800×600×600mm
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净重：220 Lbs.
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运输重量：1200lbs
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质保期
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一年质保期，终身维护，相关耗材除外如炉管，密封圈等易耗件
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CE认证
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所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
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若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
    
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