VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
技术参数
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主要特点
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真空吸附方式固定样件，操作简便。
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使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。
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根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。
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设有12组程序，每组包含6个运行阶段。
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电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
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50W/24V 直流电机
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适于在Ar气环境中工作（真空泵放置在手套箱外）
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参数
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电机功率：50W/24V
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速度范围：500-10000rpm
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程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段
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增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s
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时间范围：0-60s
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吸盘：Φ19mm、Φ60mm
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进气口 |
上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体，实现在气氛环境下旋转涂覆
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可选加热部分 |
上盖内部增加红外灯管加热，采用K型热偶测温，数字温控器控温，*高120℃，可使得样品涂覆后原位烘干，用于薄膜太阳能电池等研究。
   
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产品规格
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尺寸：450mm×280mm×340mm；
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重量：20kg
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标准配件
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1
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真空吸盘（含O型圈）
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2个
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2
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中心定位器（含4个定位柱）
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1个
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3
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滴胶注射器（20ml）
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1个
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4
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注射器支架
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1个
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5
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AP-1400V无油真空泵
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1台
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6
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橡胶管（含卡箍）
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1根
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可选配件
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过滤器（真空泵用）
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