薄膜测厚层积速率显示仪--TM106-LD

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简单介绍

薄膜测厚/层积速率显示仪--TM106-LD

产品描述

TM106-LD薄膜测厚仪/层积速率显示仪的工作原理，是依据所测样品薄膜厚度的改变而导致石英晶片振荡频率改变。将所蒸发材料的密度输入到测试系统中，便可测量层积薄膜的厚度。此款测厚仪的分辨率为0.037 Å。

技术参数

功率	400 mA, 5V (dc)
测试频率范围	6.0 - 5.0 MHz
频率分辨率	+/- 0.03 Hz @ 6 MHz
测量区间	0.10s
参考频率稳定性	+/- 2 ppm
厚度和速率分辨率	+/- 0.037Å 基频=6MHz
厚度显示分辨率	1 Å
尺寸	11.4 x 7.6 x 2.5 cm
重量	57g
操作系统	Windows 8, Windows 7, Windows Vista, Windows XP, 或Windows 2000
晶体探针架	探针长度：120mm 探针直径：10mm 安装有水冷夹层，保持探针的温度低于150℃
软件	包括STM-2软件
可选石英晶体	含金石英晶体：用于测试金属薄膜厚度合金石英晶体：用于测量非金属薄膜厚度
安装
质保期	一年质保期，终身维护
应用	选择合适的石英振荡晶体，分为含金石英晶体和合金石英晶体含金石英晶体，适用于大多种材料测试合金石英晶体建议用于测试光学薄膜，介电薄膜或半导体膜等