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- 产品名称：多通道质子流量计控制系统-GSL-LCD(控制面板为触摸屏）
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- 发布时间：2018-03-30
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简单介绍
多通道质子流量计控制系统-GSL-LCD(控制面板为触摸屏）
产品描述
GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜*大可以承重1000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
操作视频
技术参数
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功能
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双通道
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三通道
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四通道
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五通道
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质子流量控制器
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工作温度：5~45ºC
*大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
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工作温度：5~45 ºC
*大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
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工作温度: 5~45 ºC
*大压力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用
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工作温度: 5~45 ºC
*大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客户要求定制
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输入电源
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AC 220V/50Hz单相
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功率
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23W
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PLC触摸屏
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各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上
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RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控制
 
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机械压力表
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有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接
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量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
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针阀
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316 不锈钢
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通气管道
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内部连接管道为1/4”不锈钢管
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外部通气管道为1/4”聚四氟管
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混气罐
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Φ80X120mm
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截止阀及配件
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外形尺寸
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600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
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CE认证
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质保期
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一年质保期，终身维护
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CVD & PECVD 管式炉 （点击图片查看详细资料）
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