- 如果您对该产品感兴趣的话，可以
- 产品名称：混气系统3路浮子
- 产品型号：
- 产品展商：上海升利
- 产品文档：无相关文档
- 发布时间：2018-03-30
- 在线询价
简单介绍
混气系统3路浮子用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，结合我公司的管式炉，可作用CVD系统和退火炉去研究气体环境影响材料。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
产品描述
技术参数
|
名称
|
混气系统3路浮子
|
|
浮子流量计
|
三种不同量程的浮子流量计，控制精度4%
·A：10 - 100mL/min
·B：16 - 160mL/min
·C：25 - 250mL/min
|
|
机械压力表（混气罐）
|
·-0.1-0.15 Mpa
|
|
接头和气管
|
·在混气系统右侧安装三个气体进口
·两通道气体流入气体混合罐，另一个通道气体不通过气体混合管
·两个出口（可连接管式炉）安装在混气系统的左侧（一路混合气体和一路单独的气体）
·12”长1/4”直径的聚四氟管及快插接头
|
|
真空针阀
|
·采用ss304不锈钢
·安装在混气系统的右侧
|
|
安装带刹车的转向轮
|
外形尺寸：600 mm L x 600 mm W x 650 mm H
|
|
可选
|
CVD或者PECVD 液相气体发生器
|
|
净重
|
约75 Kg
|
|
质保期
|
一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
|