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- 产品名称：1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV
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- 发布时间：2018-03-30
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简单介绍
1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV
产品描述
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr.
技术参数
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高温炉壳体
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采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃
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内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
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功率
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2.5 KW
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电压
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AC 208-240V 单相, 50/60 Hz
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加热元件
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掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其*大程度延长使用寿命）
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*高工作温度
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1200℃
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连续工作温度
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1100℃
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*快升温速率
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≤20 ℃
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炉管材质和尺寸
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石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
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加热区长度
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400 mm
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恒温区长度
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150 mm(+/-1 ℃) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
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控温系统
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控温精度
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+/- 1 ℃
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真空密封系统
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两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），*大漏气率6 mtorr/min
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真空泵
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采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的*小微粒直径为0.3微米。
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防腐型真空计
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可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
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混气系统
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三个浮子流量计
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三路浮子量程分别为
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10-100 cc/min.
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16-160 cc/min.
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25-250 cc/min
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内部安装有一混气罐
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尺寸
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炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
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混气系统尺寸: 600x600x597 mm
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净重
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约60kg
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开门断电
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为保证使用**，该电炉为开门断电设计
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运输重量
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200
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质保期
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一年质保期（不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件）
 CE Certificate
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使用注意事项
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炉管内气压不可高于0.02MPa
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由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加****
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当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
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进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
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石英管的长时间使用温度＜1100℃
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对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）
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