真空炉的创造和发展对人类进步起着十分重要的作用。中国在商代出现了较为完善的炼铜炉，炉温达到1200℃，炉子内径达0.8米。在春秋战国时期，人们在熔铜炉的基础上进一步掌握了提高炉温的技术，从而生产出了铸铁。1794年，世界上出现了熔炼铸铁的直筒形冲天炉。后到1864年，法国人马丁运用英国人西门子的蓄热式炉原理，建造了用气体燃料加热的**台炼钢平炉。他利用蓄热室对空气和煤气进行高温预热，从而保证了炼钢所需的1600℃以上的温度。1900年前后，电能供应逐渐充足，开始使用各种电阻炉、电弧炉和有芯感应炉。
二十世纪50年代，无芯感应炉得到迅速发展。后来又出现了电子束炉，利用电子束来冲击固态燃料，能强化表面加热和熔化高熔点的材料。用于锻造加热的炉子*早是手锻炉，其工作空间是一个凹形槽，槽内填入煤炭，燃烧用的空气由槽的下部供入，工件埋在煤炭里加热。这种炉子的热效率很低，加热质量也不好，而且只能加热小型工件，以后发展为用耐火砖砌成的半封闭或全封闭炉膛的室式炉，可以用煤，煤气或油作为燃料，也可用电作为热源，工件放在炉膛里加热。
真空炉的结构、加热工艺、温度控制和炉内气氛等，都会直接影响加工后的产品质量。在锻造加热炉内，提高金属的加热温度，可以降低变形阻力，但温度过高会引起晶粒长大、氧化或过烧，严重影响工件质量。在热处理过程中，如果把钢加热到临界温度以上的某一点，然后突然冷却，就能提高钢的硬度和强度;如果加热到临界温度以下的某一点后缓慢冷却，则又能使钢的硬度降低而使韧性提高。
真空系统的起始压强：真空泵开始工作时的压强，各种真空泵的起始压强相差很大。比如，机械泵在大气压强下即可工作，扩散泵须在一定前置真空度下才能工作。极限压强：指在真空系统中没有漏气或者内壁放出气体的情况下，经过相当长时间抽气后，一定型号的真空泵 所能达到*小压强。电热元件：电热元件材料镍钴及铁钴合金，Cr和A1在高温真空状态下易于生产政法作用，适用于温度不是很高的低真空炉。高熔点纯金属（钼、钨、钽）在真空或者保护气氛下适用。非金属电热元件（石墨）：熔点高、膨胀系数小、高温机械性能好等优点，但使用于保护气氛工作，不宜在真空中工作。
真空炉使炉温恒定和实现规定的升温速度，除必须根据工艺要求、预热器和炉用机械型式、燃料和燃烧装置类别、真空炉排烟方式等确定优良的炉型结构外，还需要对燃料和助燃空气的流量和压力，或对电功率等可控变量通过各种控制单元进行相互调节，以实现炉温、炉气氛或炉压的自动控制。燃气为液化气，天然气，焦炉煤气，城市煤气，转炉煤气，混合煤气，发生炉煤气，高炉煤气等。