SF6气体抽真空及回收装置流程说明：
1、SF6气体的回收
当SF6从一个气室中抽出时，气体便自动地流经净化过滤器，通过SF6压缩机压缩冷却，可以气态也可以在一定高压下以液态形式储入SF6贮罐。
2、SF6开关抽真空
通过真空泵把开关中的空气及湿气可以抽除，真空泵的出口通向大气。
3、充气
经净化和干燥的SF6从贮罐充回到已抽成真空的气室中，直到气室内压力达到调定的工作压力。上述工作分两个步骤进行:
1、借助SF6贮罐压力使气体流向SF6开关，直至达到预定的充气压力。
2、当SF6贮罐压力与SF6开关压力平衡时，再采用压缩机进行加压充气，直至达到预定充气压力。
技术条件
1、形式:移动式、风冷式
2、工作原理
1) 使用压缩机高压冷凝液化SF6气体。
2) 热交换器辅助气体回收和回充
3) 充气时经缓冲-气体充入
3、主要性能及技术参数
1) 装置上限真空度≤133Pa(特别要求可≤5Pa)
2) 装置抽真空速率55m³/h
3) 装置充气初压力<133Pa(用户要求自定)
组成部件优点:
(1)设计先进，功能齐全，结构合理，操作简洁明了。
(2)压缩系统:采用SF6专用封闭压缩机，无泄漏。
(3)抽真空系统采用旋片式真空泵，有自动防止返回油装置。
(4)净化系统采用日本CKD公司原理过滤器，过滤器采用电加热及内装高效吸附剂，净化效果更显著(无需频繁更换吸附剂)。
(5)装置电气系统三相电源自动确认、断相自动保护。
(6)装置控制系统采用技术的SF6专用阀门