日本胜铁克SENTEC纳米级位移测量应用
测量目的 测量纳米阶段的移动量 概要 作为在纳米舞台上放上零部件，使之运转了的时候的舞台的运动和零部件的运动的验证用，采用了Capa6500。 根据Capa6500系列有的，「0.0375nm」的高的分辨率，高精度的计测成为可能。 采用的产品
■使用传感器 控制器：Capa6500 传感器：CS05