企业信息
第6年
- 入驻时间: 2018-09-17
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产品详情
简单介绍:
METROL美德龙适用型传感器METROL美德龙适用型传感器METROL美德龙适用型传感器
详情介绍:
10-5Pa
高真空度等级!
仅用低排气零件生产的高真空环境专用定位传感器。
在真空蒸镀装置、溅镀装置内的晶片、掩膜定位用途中,广泛为大型半导体生产设备制造商所采用。
高真空度等级!
仅用低排气零件生产的高真空环境专用定位传感器。
在真空蒸镀装置、溅镀装置内的晶片、掩膜定位用途中,广泛为大型半导体生产设备制造商所采用。
代表型号名称 | 动作形态 | 电线方向 |
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GN-PT5M3A | A : NO | 直型 |
|
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GN-PT5M3B | B : NC | ||||||
GN-PT5M3A-R | A : NO | 直角(-R) | |||||
GN-PT5M3B-R | B : NC |
接点构造 | 接点型 |
---|---|
动作形态 | A : NO /B:NC |
动作点的重复精度 | ON⇄OFF均为0.003mm(范围)常温使用时的数值 |
适用真空度/容许烘焙温度 | 10-5Pa / 120℃ |
预行程 | 无(请用信号的切换点调整传感器的安装位置) |
迟滞 | 0 |
机械寿命 | 300万次 |
行程 | 1.5mm |
接触力 | 0.5N |
接点额定值 | DC5V~DC24V 稳态电流10mA以下(冲击电流20mA以下) |