产品名称：FLP-60W 气动低脉动波纹管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W

型号：FLP-60W型

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FLP-60W 气动低脉动波纹管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W

发布时间 : 2024-05-17 03:18

FLP-60W 气动低脉动波纹管泵 IWAKI 易威奇FLP-60W

FLP-60W 气动低脉动波纹管泵 IWAKI 易威奇不需要阻尼器，实现低脉动，有助于降低总成本它通过适用于单晶圆工艺的出色负载跟随性实现稳定工作

产品特点

低脉动：根据激光位移传感器和接近开关的信号，控制器始终跟踪波纹管的位置。通过控制器判断左右波纹管的*合适相位覆盖量，并通过切换电磁阀来减小脉动。

优异的负载跟随性，适用于单晶圆工艺：通过执行相位控制改善了负载波动的可跟随性。特别是在频繁发生压力波动的生产线中，例如单张纸加工，其高负荷跟随能力实现了排出量和排出压力的稳定操作。

无需阻尼器，节省空间：由于不需要安装阻尼器，因此实现了装置的节省空间。管道工作也很容易，可以减少昂贵的管道材料，如氟树脂配件，有助于更小更轻的设备。

**设计：波纹管焊接结构可防止液体泄漏，即使波纹管破裂，也会采用检测漏液的泄漏传感器，因此您可以放心使用。

产品规格

*大放电量注意1 L/min	50
*大脉动压力宽度MPa	0.06
可用的液体温度范围（*大供气压力）°C（MPa）	5 〜 100（0.5）、101 〜 150（0.4）、151 〜 180（0.3）
供气压力MPa	0.41 〜 0.5	0.31 〜 0.4	0.21 〜 0.3	0.11 〜 0.2	0.1
spm的*大笔画数	120	140	155	160
*大空气消耗量NL / min	464	419	338	252	116
*大液体输送粘度mPa•s	50
自吸能力注2m	1
工作环境温度/湿度℃/％RH	0至60（不冻结）/ 35至85（无冷凝）
储存环境温度/湿度℃/％RH	-10至60（不冻结）/ 35至95（无冷凝）
安装环境	室内（尘埃较少的环境），剧烈振动/没有冲击，水/油等不扩散，没有腐蚀性气体，使泵材料显着恶化
防爆	非防爆结构（不适用于易燃或爆炸性气体/液体环境）
使用条款	间歇性操作
使用方法	驱动空气外部强制切换系统
连接管道口mm	φ25×φ22（管）
供气连接口直径	Rc 3
空气吹扫端口连接端口	φ6的单触式接头
重量kg	22

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