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- 产品名称：FF-20HT 化学溶液补给泵 IWAKI 易威奇
- 产品型号：FF-20HT
- 产品展商：IWAKI 易威奇
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简单介绍
化学溶液补给泵| CFD
每次注射1 mL，点胶性能大幅提升
通过将排出量设定为每次注射1mL，与常规分配性能相比，分配性能显着提高。 通过在必要时注入必要的*小量，可以高精度地执行晶片清洁溶液的浓度控制。 此外，可以抑制浓度的过冲，这导致洗涤溶液的成本降低。 另外，内置虹吸防止机构以防止化学液体流出。
产品描述
FF-20HT 化学溶液补给泵 IWAKI 易威奇
FF-20HT
产品特点
提高点胶性能：通过将排出量设定为每次注射1mL，与常规分配性能相比，分配性能显着提高。 通过在必要时注入必要的*小量，可以高精度地执行晶片清洁溶液的浓度控制。 此外，可以抑制浓度的过冲，这导致洗涤溶液的成本降低。 另外，内置虹吸防止机构以防止化学液体流出。
耐腐蚀结构仪表：润湿部分由全氟聚合物（PTFE，PFA，PCTFE）制成，并且它可以对应于用于半导体应用的化学品，例如酸，碱和过氧化氢。 此外，泵的外部采用树脂（PTFE，PFA，PP，PVC）和PTFE涂层螺钉，具有高耐腐蚀结构。
它对应于宽放电设置：通过拆下泵底部的盖子可以很容易地调整行程长度。 每次注射*多可放电2.7 mL。 （出货时，1毫升/次）
泄漏传感器标准设备：泄漏传感器即使在破碎的波纹管作为标准配置时也能快速响应。
产品规格
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一般规格
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用途
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薬液補充用途
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排出量
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1mL/shot
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*大排放压力
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0.05MPa
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处理液体温度范围
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20～60℃
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*大冲程数
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30spm
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供气压力
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0.15～0.3MPa
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*大耗气量
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2.5NL/min
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接液部件材料
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PTFE、PFA、PCTFE
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泵连接端口直径
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1/4”PFAチューブ（φ6.35×4.35）
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供气连接口直径
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Rc1/8
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重量
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1.1kg
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光传感器规格
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形式
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透射式微光电传感器
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电源电压
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5～24V DC±10％
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输出格式
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NPN晶体管·集电极开路
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允许电流
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50mA以下
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代码
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PVC 4芯电缆外径φ5.2mm电缆长度5 m带圆形端子（0.5 - 4）
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