- 如果您对该产品感兴趣的话，可以
- 产品名称：气动波纹管泵（FA-40VEW）
- 产品型号：FA-40VEW
- 产品展商：IWAKI 易威奇
- 产品文档：无相关文档
简单介绍
气动波纹管泵 FA系列
用于晶圆清洁，气动波纹管泵。
我们采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型对FA - 2型水平流型进行了标准化。 FA-2型适用于喷涂单晶圆加工，FA-40VEW型适用于清洗200/300 mm晶圆。
产品描述
用于晶圆清洁
气动波纹管泵
特点
两种中温规格
我们采用小流量模型和FA - 40VEW型垂直型大流量模型对FA - 2型水平流型进行了标准化。 FA-2型适用于喷涂单晶圆加工，FA-40VEW型适用于清洗200/300 mm晶圆。
厚厚的波纹管
FA - 40VEW型采用厚波纹管。 它是一种长寿命设计，具有出色的耐压性，可承受长期连续运行。
传感器驱动方式
氟树脂用于所有润湿部件。 它是一种无污染的设计，不使用橡胶或金属，例如在泵的外圆周上涂覆氟树脂涂层。 此外，由于FF-H系列的主体和波纹管是完全焊接的，因此热循环不会有液体泄漏。
简单操作
通过连接到专用控制器，可以轻松控制和管理排放量。
大纲规范
|
型 号
|
FA-2E-1
|
FA-40VEW
|
|
*大排放量 L/min
|
2
|
40
|
|
供气压力范围 MPa
|
0.2～0.4
|
0.1～0.4
|
|
液体温度范围 ℃
|
5～100
|
|
*大耗气量 NL/min
|
50
|
200
|
|
泵冲程数 spm
|
Max.150
|
Max.80
|
|
泵连接端口直径
|
Rc1/8
|
Rc1
|
|
空气连接口直径
|
Rc1/4
|
Rc3/8
|
|
环境温度℃
|
0～40
|
|
驱动方式
|
接近开关方法
|
- 温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买前务必确认供应商资质与产品质量。
- 免责申明：以上内容为注册会员自行发布，若信息的真实性、合法性存在争议，平台将会监督协助处理，欢迎举报