高真空元件 - 入江贸易（东莞）有限公司

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	SMC-真空无杆气缸-真空无杆缸 CYV 系列 CYV 系列	SMC-真空无杆气缸-真空无杆缸 CYV 系列・可在真空环境内（1.3×10-4Pa）执行搬运工作的气缸。
	SMC-缝阀／门式阀-缝阀 XGT 系列 XGT 系列	SMC-缝阀／门式阀-缝阀 XGT 系列・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。
	SMC-高真空阀-平稳排气阀 XVD 系列 XVD 系列	SMC-高真空阀-平稳排气阀 XVD 系列・阀与针阀一体化，配管空间为原来的1/4。・密封部采用金属膜片，大幅减少了微粒的产生。・初始供气、主給気可同时进行流量调节。
	SMC-高真空阀-常闭型高真空电磁阀 XSA 系列 XSA 系列	SMC-高真空阀-常闭型高真空电磁阀 XSA 系列・低使用压力：1×10-6Pa(abs) ・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。・有2种接头和内螺纹可选。・消耗功率：多削减25％。・质量：*多减小18％　0.5kg→0.41kg。
	SMC-高真空阀-不锈钢制高真空L型／直线型阀 XMA/XYA系列 XMA/XYA系列	SMC-高真空阀-不锈钢制高真空L型／直线型阀 XMA/XYA系列・无气体积留的精密遗体铸造结构。・铝制高真空L型阀，安装上具有与XL系列的互换性（XM系列）。注）直线型无尺寸16。
	SMC-高真空阀-铝制快速拆装型高真空L型阀 XLDQ系列 XLDQ系列	SMC-高真空阀-铝制快速拆装型高真空L型阀 XLDQ系列・快速拆装（无需工具）。
	SMC-高真空阀-铝制快速拆装型高真空L型阀 XLAQ系列 XLAQ系列	SMC-高真空阀-铝制快速拆装型高真空L型阀 XLAQ系列・快速拆装（无需工具）。